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本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种用于晶圆盒运输车的旋转限位止回装置及其工作方法。该装置包括立板，立板右端设置偏心轮，左端设置带座轴承、主轴和限位转接板二，限位转接板二内部插入连接有限位块二，带座轴承与主轴后端设置有与限位转接板二、限位转接板一与限位块一，立板左表面设置有止回块，上端连接有导向块和压杆，止回块上表面设置有弹簧支柱一，立板左表面上端设置有弹簧支柱二，弹簧支柱一与弹簧支柱二之间连接有拉伸弹簧，主轴上端设置有挡块。本发明解决了当前设备方案限位装置安装在转轴附近，调整限位极限时需将
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117231657A
(43)申请公布日2023.12.15
(21)申请号202311497521.8
(22)申请日2023.11.11
(71)申请人沈阳富创精密设备股份有限公司
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