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- 2023-12-16 发布于四川
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提供了一种制造部件承载件(130)的方法及一种部件承载件(130)。该方法包括:在电绝缘层结构(102)的顶部上提供导电层结构(100);通过第一激光束(106)在导电层结构(100)中形成窗口(104)并移除电绝缘层结构(102)在窗口(104)下方的材料;以及随后通过第二激光束(108)移除电绝缘层结构(102)在窗口(104)下方的另外的材料,该第二激光束的大小(D)小于窗口(104)的大小(L)。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN111508893A
(43)申请公布日
2020.08.07
(21)申请号20191
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