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用于电镀衬底中的凹进部分的方法、装置和系统.pdfVIP

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  • 2023-12-16 发布于四川
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用于电镀衬底中的凹进部分的方法、装置和系统.pdf

    本发明涉及一种用于电镀衬底中的凹进部分的方法、一种用于电镀衬底中的凹进部分的装置，以及一种包括所述装置的用于电镀衬底中的凹进部分的系统。所述用于电镀衬底中的凹进部分的方法包括以下步骤：a)提供具有包括至少一个凹进部分的衬底表面的衬底，b)将替换气体施加到所述凹进部分，以替换所述凹进部分中的一定量的环境气体，来至少部分地清理所述凹进部分中的所述环境气体，c)将处理流体施加到所述凹进部分，其中所述替换气体溶解在所述处理流体中，以至少部分地清理所述凹进部分中的所述替换气体，以及d)电镀所述凹进部分。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN110079843A

    (43)申请公布日

    2019.08.02

    (21)申请号20191

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