第4章-电容式传感器(4-64学时).pptVIP

第4章

电容式传感器

5学时第4章电容式传感器第一节电容及结构一、电容1、导体的电容2、电容器的电容（1）平板电容器■介电常数εr（2）球形电容器（3）柱形电容器（4）平行直导线形电容器二、结构三、电容式传感器工作原理1、变极距型电容传感器（1）变极距型电容传感器的初始电容C0（2）变极距电容传感器电容量的变化ΔC（3）电容相对变化ΔC/C0与极板间距相对变化Δδ/δ0的关系（4）灵敏度K（5）非线性误差ef（6）实际上电容器均采用高介电常数的材料（云母、塑料膜等）作介质（7）变极距型差动式电容器2、变面积型电容传感器3、变介质型电容传感器第二节应用中存在的问题及改进的措施一、等效电路二、边缘效应

（1）电容传感器边缘效应（2）边缘效应电容的计算（3）消除边缘效应三、静电引力（3）电容传感器静电引力的计算四、寄生电容2、寄生电容的危害■屏蔽■屏蔽静电感应静电屏蔽电磁感应、电磁屏蔽（1）等电位法③驱动电缆技术—等电位屏蔽法（2）整体屏蔽-消除静电干扰和电磁波干扰（3）组合集成技术五、温度影响1、温度对结构尺寸的影响2、温度对电解质介质的影响第三节电容传感器的测量电路1、调频电路2、运算放大器电路3、二极管双T形交流电桥4、环形二极管充放电法5、脉冲宽度调制电路第四节电容传感器的应用一、电容式位移传感器（2）容栅式传感器二、电容式加速度传感器三、电容式力和压力传感器（2）电容式压力传感器四、电容式物位传感器（1）电容式液位传感器五、涡街流量计涡街频率的测量方法涡街频率的测量涡街流量计存在着一定的局限性■气蚀涡街流量计（E+H公司产品）结束作业8作业9思考题：电容式加速度传感器的结构示意图如下图所示。结构电容式加速度传感器中●壳体是传感器的支撑结构●质量块与壳体以簧片连接●4个簧片，各自一边固定于壳体上，另一边支承质量块，弹簧片较硬使系统（质量块）的固有频率较高●动极板装在质量块的上下两个侧面●定极板固定在壳体上下A、B面内侧因此构成惯性式加速度计的工作状态质量块壳体簧片定极板动极板A面B面电容式加速度传感器工作原理当测量垂直方向的直线加速度时传感器壳体固定在被测振动（运动）体上振动体的振动使壳体相对质量块运动Fx=max质量块壳体簧片定极板动极板A面B面电容式加速度传感器xy因而使A面、B面的两个电容极板的距离发生改变，两个电容一个增加、一个减少它们的电容差值与被测加速度ax成正比C=f(ax)●当传感器壳体相对惯性空间向上位移x时（壳体和质量块为一个惯性系统）传感器的加速度ax为：●在惯性力的作用下，传感器中的质量块相对于壳体向下位移y为:●质量块与壳体为簧片连接，质量块产生惯性力Fx，其方向与传感器的位移x方向相反，大小为：式中：x壳体相对惯性空间向上位移v壳体相对惯性空间的运动速度ax质量块的加速度m质量块的质量●综上可见ax→Fx→y→CC=f(ax)Fx=max质量块壳体簧片定极板动极板A面B面电容式加速度传感器xy（1）差动电容式差压传感器差动电容式差压传感器结构如下图所示。电容的动极板具有预张力的金属膜片作为感压敏感元件，同时作为可变电容的动极板。p1p2定极板（金属镀层）动极板（金属膜片）abc玻璃衬底电容式差压传感器电极引线结构壳体是传感器的支撑结构在壳体内有两个压室，分别通入被测压力p1、p2电容的两个定极板采用蒸镀加工工艺将电容的两个定极板蒸镀在弧形玻璃衬底上，构成传感器的两个差动电容。●当测量压室两边的压力p1=p2时F1=p1AF2=p2AF1=F2动极板金属膜片居中两个电容相等●当测量室两边的压力p1p2时F1=p1AF2=p2AF1F2动极板金属膜片弯向右边两个差动电容一个增大、一个减小，且变化量（绝对值）大小相同。式中：A电容动极板有效面积(m2)差动电容式差压传感器工作原理p1p2abc电极引线p1=p2、F1=F2F1F2p1p2abc电极引线p1p2、F1F2F1F2●当测量室两边的压差反向变化p1p2时F1=p1AF2=p2AF1F2动极板金属膜片弯向左边两个差动电容一个增大、一个减小，且变化量（绝对值）大小相同。p1p2定极板（金属镀层）