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一种确定随机度量的方法，该方法包括：获得经训练的模型，该模型已经被训练为使训练光学量测数据与训练随机度量数据相关，其中训练光学量测数据包括多个测量信号，该多个测量信号与跨从多个训练结构散射的辐射的零阶或更高阶衍射的强度相关参数的分布有关，并且训练随机度量数据包括与所述多个训练结构有关的随机度量值，其中多个训练结构已经被形成为具有所述随机度量所依赖的一个或多个维度的变化；获得光学量测数据，该光学量测数据包括跨越从结构散射的辐射的零阶或较高阶衍射的强度相关参数的分布；以及使用经训练的模型从光学量测数
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117255972A
(43)申请公布日2023.12.19
(21)申请号202280033121.9(72)发明人C·巴蒂斯塔基斯M·皮萨伦科
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