一种半导体光掩模基板检测方法、系统、设备及存储介质.pdfVIP

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2023-12-20 发布于四川
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一种半导体光掩模基板检测方法、系统、设备及存储介质.pdf

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本申请提供了一种半导体光掩模基板检测方法、系统、设备及存储介质，通过确定基板涂料光斜饱和图像，对基板涂料光斜饱和图像进行饱和收缩化，得到基板涂料光斜饱和收缩图像，确定基板涂料光斜饱和收缩图像的饱和收缩图像子块集和饱和收缩权阈点集，进而确定可变饱和收缩色彩强化因子，根据所有的可变饱和收缩色彩强化因子对所述饱和收缩图像子块集进行可变色彩强化，得到基板涂料光斜细节加强图像，根据所述基板涂料光斜细节加强图像确定该半导体光掩膜基板的基板涂料检测界定值，当所述基板涂料检测界定值低于预设的基板涂料检测界定阈值

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117252871A

(43)申请公布日2023.12.19

(21)申请号202311522728.6

(22)申请日2023.11.15

(71)申请人深圳市精石光掩膜技术有限公司

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