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2023-12-20 发布于四川
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本发明提供一种MEMS振荡器，其包括：MEMS谐振器，其用于振动以产生振荡信号；振荡模块，其包括跨阻放大单元，跨阻放大单元与MEMS谐振器电性连接以用于维持MEMS谐振器振动，且振荡模块接收振荡信号以输出频率信号，以及控制模块，其被配置为基于MEMS谐振器的预设振荡频率产生相应的控制信号，其中，控制模块与振荡模块电性连接，振荡模块接收该控制信号来调节振荡模块中跨阻放大单元的带宽以与预设振荡频率匹配。本发明通过控制模块调节振荡单元的带宽，既能够确保跨阻放大单元具备足够的带宽接收振荡信号进行处理，又

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117254773A

(43)申请公布日2023.12.19

(21)申请号202311386174.1

(22)申请日2023.10.24

(71)申请人麦斯塔微电子（深

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