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2023-12-20 发布于四川
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一种浮动式晶圆边缘打磨方法及装置.pdf

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本发明公开了一种浮动式晶圆边缘打磨方法及装置，属于晶圆打磨技术领域，本方案通过在晶圆片表面喷涂掺有红外反射颗粒的保护定位层，对晶圆片进行包裹，避免了在打磨边缘时，晶圆碎屑对晶圆片表面造成损伤，同时利用红外反射颗粒配合红外扫描模块对晶圆片建立坐标系找出中心点，配合负压槽产生负压对晶圆片进行吸附固定，减少了晶圆片的偏位，提高了打磨效果，利用夹持锥控制晶圆片缓慢靠近溢水打磨环对其边缘进行修整打磨，利用漫水桶中不断漫溢的水带走打磨下来的碎屑，有效避免了碎屑对晶圆片表面磨损，利用漫水桶上下运动使得晶圆片在

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN115256108A

(43)申请公布日2022.11.01

(21)申请号202210818874.2B24B49/12(2006.01)

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