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本发明公开了一种半导体材料全自动高温洗净装置，包括底座，所述底座顶部一侧依次安装有超声波煮沸槽、旋转清洗槽和红外加热烘干槽，所述超声波煮沸槽内部底端安装有超声波振板，所述超声波振板的输入端与外部电源的输出端电性连接，所述超声波煮沸槽和旋转清洗槽一侧底部均安装有加热器，所述加热器的输入端与外部电源的输出端电性连接，所述超声波煮沸槽另一侧底部安装有通气管，通过多槽结构，实现了可以同时清洗多个产品，也可以是不同的产品，配置灵活，效率高；设置有超声波煮沸槽，通过气泵将空气压缩并导入通气管，并从通气管上的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117244855A
(43)申请公布日2023.12.19
(21)申请号202311259852.8
(22)申请日2023.09.27
(71)申请人江苏富乐德石英科技有限公司
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