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本发明公开了一种氯硅烷渣浆的处理方法，其是将含杂质的氯硅烷先送入沉降罐进行沉降，然后将所得渣浆送入渣浆闪蒸罐中，在通入热氮气的条件下进行闪蒸，再将闪蒸后的渣浆流入渣浆沉降罐内进行二次沉降，二次沉降后的渣浆送往薄膜蒸发器进行蒸发，再经渣浆料干燥机干燥后送入水解槽进行水解反应，以最终得到固态二氧化硅及硅微粉；而该工艺中产生的蒸汽经冷凝后采用清液缓冲罐进行收集，再送入清液蒸馏塔进行蒸馏，蒸馏出的轻组分经冷凝后流入STC缓冲罐进行收集，重组分则另行回收处理。本发明方法能有效回收氯硅烷生产过程中产生的硅粉
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117247022A
(43)申请公布日2023.12.19
(21)申请号202311275035.1B01D3/38(2006.01)
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