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本申请涉及谐振器技术领域，公开一种抑制带内谐波的声表面波谐振器，包括：压电衬底，用于声电换能；压电衬底的外表面设置有叉指电极结构；叉指电极结构，通过施加电压以激励声电换能；第一温度补偿层，包裹叉指电极结构；多个金属条，设置在第一温度补偿层上；各金属条均设置于叉指电极结构的电极指末端区域，且至少部分金属条的宽度不一致。这样，通过在叉指电极结构的电极指末端区域设置宽度不一致的金属条，能够更好的抑制谐波，从而提升声表面波谐振器的插损功能。本申请还公开一种MEMS设备。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117254789A
(43)申请公布日2023.12.19
(21)申请号202311522935.1
(22)申请日2023.11.15
(71)申请人深圳新声半导体有
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