基于机器视觉的纳米压印晶圆缺陷精准检测系统及方法.pdfVIP

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2023-12-20 发布于四川
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基于机器视觉的纳米压印晶圆缺陷精准检测系统及方法.pdf

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本发明属于晶圆缺陷检测技术领域，具体是基于机器视觉的纳米压印晶圆缺陷精准检测系统及方法，该纳米压印晶圆缺陷精准检测系统包括处理器、机器视觉模块、图像处理识别模块、晶圆缺陷精准评估模块、采像合规性检测模块和人机交互界面模块；本发明是通过机器视觉模块在晶圆经过纳米压印后对其表面进行采像，图像处理识别模块对特征图像进行缺陷识别和定位，晶圆缺陷精准评估模块快速准确的对晶圆缺陷严重程度进行分析反馈，显著提升晶圆缺陷检测的自动化程度和智能化程度，且能够对采像过程的合规性状况进行检测分析，有效保证针对晶圆表面

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117250208A

(43)申请公布日2023.12.19

(21)申请号202311541658.9G06N3/0464(2023.01)

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