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2023-12-20 发布于四川
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本申请涉及一种太阳能电池及其制备方法、光伏组件，制备方法包括：提供半导体衬底；对所述半导体衬底进行制绒处理；在所述制绒后的半导体衬底的正面形成预处理膜层，所述预处理膜层中含有掺杂元素；在所述预处理膜层表面进行第一热处理使得对应于金属化区域的半导体衬底内形成重掺杂区以及在所述预处理膜层表面进行第二热处理使得对应于非金属化区域的半导体衬底内形成轻掺杂区，所述第一热处理温度高于第二热处理温度；在半导体衬底的背面形成隧穿层以及掺杂导电层；在半导体衬底的正面以及背面分别形成正面减反射层和背面减反射层，其中

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN115172479A

(43)申请公布日2022.10.11

(21)申请号202210923575.5H01L31/05(2014.01)

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