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一种适用于清洁离子束刻蚀设备中grid的装置.pdfVIP

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  • 2023-12-20 发布于四川
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一种适用于清洁离子束刻蚀设备中grid的装置.pdf

    本实用新型提供了适用于清洁离子束刻蚀设备中grid的装置，其特征在于，包括外架固定主体、移动平台和连接件，在外架固定主体内侧设置有可沿多个方向移动的移动平台，移动平台通过连接件与外架固定主体连接，连接件滑动设置于所述外架固定主体上，在移动平台上设置有容纳吸气管的开口，开口贯穿于所述移动平台，能够保证在不拆离子源的情况下对grid进行保养维护，通过在设备上安装该清洁装置对以grid进行吸力清洁，能够及时高效地对grid表面进行处理，在不拆离子源的情况下提高工作效率且保证了刻蚀的相对稳定性。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220208890U

    (45)授权公告日2023.12.19

    (21)申请号202321524476.6

    (22)申请日2023.06.15

    (73)专利权人上海鲲游科技有限公司

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