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份化学站期一重大事项概述.pdfVIP

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  • 2023-12-25 发布于北京
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份化学站期一重大事项概述.pdf

    周报—W14

    化学站

    WuhuChipProcessEquipmentDepartment

    一.重大事项概述

    提

    纲二.异常处理心得

    三.本周自我总结

    WuhuChipProcessEquipmentDepartment

    一、重大事项概述

    日期:2015/2/16

    机台名称：A1SGJ029

    异常：氮气预热温度过低

    处理时间：16:00-17:00

    处理内容：

    1.甩干机下腔体氮气预热温度过低；

    2.手动开启氮气加热无效，检查氮气加热包连线正常；

    3.检查丝发现丝烧坏，更换新的丝后，氮气加热包能正常加热；

    4.待氮气温度升至设定值时空run测试，测试ok后交由生产。

    WuhuChipProcessE

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