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2023-12-23 发布于四川
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本申请公开了一种硅棒检测系统及检测方法，该系统包括机架、支撑旋转装置、三轴直线运动模组、检测装置和控制模块。本申请的硅棒检测系统集成了对硅棒三个维度（尺寸、缺陷和电性能）的检测功能，可以对硅棒进行全维度、全角度的自动检测，并将多种检测结果进行综合分析后对硅棒进行分段和评级，避免了检测工人依据少数检测指标和经验对硅棒进行分段评级造成的人为误差，提高了对硅棒的分段评级精度。当指导后续划线裁断工序时，使得划线位置精度较高，裁切后的硅棒段质量水平较稳定，可以大大减少甚至避免硅棒的返切，提高了生产效率；另

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117276111A

(43)申请公布日2023.12.22

(21)申请号202311533123.7

(22)申请日2023.11.17

(71)申请人杭州中为光电技术有限公司

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