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本申请提供一种N型太阳能电池及其制备方法,包括:提供N型硅衬底;在N型硅衬底的表面制备氧化硼薄膜;采用激光进行掺杂,将氧化硼薄膜中的硼原子掺入N型硅衬底,形成第一掺杂区和第二掺杂区,第二掺杂区的硼掺杂浓度高于第一掺杂区的硼掺杂浓度;在第二掺杂区制备与第二掺杂区相接触的电极。本申请通过上述方法以制得N型太阳能电池,既无需进行硼离子注入,也不必在制备过程中采用硼浆,还可避免高温退火步序,有效降低了N型太阳能电池的生产工艺复杂程度以及生产成本,并且形成了选择性发射极结构,可降低N型太阳能电池的接触电阻
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117276408A
(43)申请公布日2023.12.22
(21)申请号202311320680.0
(22)申请日2023.10.11
(71)申请人江苏微导纳米科技
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