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一种半导体设备真空压力控制阀的初始压力检测装置.pdfVIP

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  • 2023-12-23 发布于四川
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一种半导体设备真空压力控制阀的初始压力检测装置.pdf

    本实用新型涉及真空压力控制阀检测装置技术领域，特别是涉及一种半导体设备真空压力控制阀的初始压力检测装置，包括装置本体，所述装置本体包含控制器和底座，所述控制器上端设有指针表，所述控制器一侧连接有干泵且干泵上端连接有阀件，所述阀件一侧连接有压力计，所述控制器正面设置有显示器且显示器两侧分别设置有第一挡板和第二挡板，所述第一挡板上端设有第一齿条，所述第二挡板上端设有第二齿条，所述第一齿条和第二齿条之间啮合有齿轮，由此，能够实现对两侧挡板的对向移动控制，便于对显示器进行密封保护，能够实现对装置整体的底

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220228035U

    (45)授权公告日2023.12.22

    (21)申请号202322071832.XF16F15/08(2006.01)

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