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一种用于生产电沉积铜箔的方法,其毛面的RzISO为0.8μm或以下,所述电沉积铜箔在包括旋转的辊状阴极、固定阳极和电解质的电铸槽中连续形成。所述电解质包含:铜,优选以铜离子的形式,浓度为至少60g/L;浓度在30至50ppm之间的卤素离子;浓度为5至15ppm之间的3‑巯基‑1‑丙烷磺酸钠;浓度为5至12ppm之间的含氮聚合物流平剂,该含氮聚合物流平剂的平均分子量Mw为1000至30000g/mol之间;以及浓度为15至30ppm之间的聚醚抑制剂,该聚醚抑制剂的平均分子量Mw为500至1200
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117280080A
(43)申请公布日2023.12.22
(21)申请号202280033267.3(74)专利代理机构北京方迪誉诚专利代理有限
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