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本发明描述了一种远心照明器，该远心照明器可例如在用于半导体晶片加工的掩模对准器系统中使用，或用作用于太阳能电池的表征的太阳模拟器系统的一部分。该远心照明器包括锥形光学器件、具有多个透镜和一个孔径光阑的透镜组、以及混合菲涅耳透镜。该菲涅耳透镜设置在沿着该远心照明器的光轴的某个位置处，以在照明平面处生成该孔径光阑的远心图像。该菲涅耳透镜可具有弯曲中心部分，并且该孔径光阑可变迹以实现期望的照明特性并提高掩模对准器系统的分辨率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117280263A
(43)申请公布日2023.12.22
(21)申请号202280033454.1(74)专利代理机构北京盛询知识产权代理有限
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