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本公开涉及描绘装置、描绘方法以及原版的制造方法。根据一个实施方式，描绘装置具备：描绘部，其利用射束在多个区域内描绘图案；运算部，其传送向所述多个区域照射射束用的数据；以及控制部，其基于从所述运算部传送的所述多个区域用的所述数据，控制所述描绘部对所述多个区域的描绘。所述控制部在向第1区域描绘后进行向第2区域的描绘的情况下，在向所述第1区域的描绘完成与所述第2区域用的所述数据的传送完成之间校正所述描绘部的状态，或者通过使向所述第1区域的描绘的完成推迟来缩短从向所述第1区域的描绘完成到所述第2区域用的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117270325A
(43)申请公布日2023.12.22
(21)申请号202310026198.X
(22)申请日2023.01.09
(30)优先权数据
2022-099937202
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