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本发明涉及一种热光可调谐并具有平顶型输出响应的三阶微环滤波器，属于半导体器件光滤波技术领域。该滤波器包括硅衬底、二氧化硅埋氧层、刻蚀形成的单晶薄膜铌酸锂脊波导、沉积形成的二氧化硅包层和热光电极。本发明通过合理控制耦合区域的耦合间距和耦合长度来实现所需要的滤波器带宽、消光比、矩形系数和平顶通带的滤波效果，提高了对工作波长的变化的容忍度，同时也提高了对工艺误差的容忍度，并且不会引入额外的损耗。本发明可以利用铌酸锂的热光效应实现有效折射率的改变。一方面，可以补偿工艺误差，解决由工艺误差引入的微环谐振峰
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117270242A
(43)申请公布日2023.12.22
(21)申请号202311350488.6
(22)申请日2023.10.18
(71)申请人中国电子科技集团公司第五十四研
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