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一种立式晶圆片运输载体清洗风干一体设备.pdfVIP

一种立式晶圆片运输载体清洗风干一体设备.pdf

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    本申请涉及一种立式晶圆片运输载体清洗风干一体设备，其包括清洗室、转动设置在清洗室内的旋转挂架、以及驱动旋转挂架整体转动的驱动组件；旋转挂架包括转动设置在清洗室内的转动底板、设置在转动底板上方并与转动底板平行的上顶板、连接转动底板及上顶板的若干个支撑柱、转动设置在转动底板及上顶板之间的若干个吊挂架、以及可拆卸设置在吊挂架上用于挂设运输载具的若干个吊架，若干个吊挂架绕转动底板的转动轴线圆周方向间隔均匀设置，转动底板上设置有若干组限制吊挂架转动的限位组件；清洗室内设置有若干个朝向旋转挂架设置的喷水柱。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220215963U

    (45)授权公告日2023.12.22

    (21)申请号202321717557.8

    (22)申请日2023.07.03

    (73)专利权人源拓机电科技（

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