金属表面处理技术 第2版 第10章 表面微细加工技术.pptVIP

飞秒激光是一种以脉冲形式运转的激光，持续时间非常短，只有几个飞秒。飞秒激光的特点有：1）飞秒激光是我们人类目前在实验条件下能够获得的最短脉冲，它的精确度是±5微米；2）飞秒激光有非常高的瞬间功率，它的瞬间功率可达百万亿瓦，比目前全世界的发电总功率还要多出上百倍；3）物质在飞秒激光的作用下会产生非常奇特的现象，气态的物质、液态的物质、固态的物质瞬间都会变成等离子。4）飞秒激光具有精确的靶向聚焦定位特点，能够聚焦到比头发的直径还要小的多的超细微空间区域；飞秒激光加工属于高能束流加工中的一种。飞秒激光具有飞秒级的脉冲宽度和超高的峰值功率。因此，飞秒与物质相互作用时避免了激光的线性吸收、能量转移和扩散，这样就会使飞秒激光加工具有超高的精度和分辨率。10.3纳米电子技术飞秒激光加工的优点有：①与传统的激光加工相比，飞秒激光加工可直接写入结构；②飞秒激光加工可获得小于1μm的空间分辨率；③飞秒激光加工无热效应、且加工表面平滑。飞秒激光非常适用于微纳加工，可以对陶瓷、玻璃、石英、塑料、树脂、聚合物等多种材料进行微纳尺度的穿孔、开槽、切割和三维立体造型。飞秒激光微纳加工通常可以分为飞秒激光烧蚀微加工和飞秒激光双光子聚合微加工。飞秒激光烧蚀微加工可使加工的材料瞬间蒸发，而不经历熔化的过程，加工机理较为复杂。10.3纳米电子技术飞秒激光微纳加工技