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2023年微波集成电路AL2O3基片项目规划设计纲要.docx

2023年微波集成电路AL2O3基片项目规划设计纲要.docx

    微波集成电路AL2O3基片项目规划设计纲要

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    微波集成电路AL2O3基片项目规划设计纲要

    目录

    TOC\h\z20657序言 3

    16292一、微波集成电路AL2O3基片项目选址可行性分析 3

    12860(一)、微波集成电路AL2O3基片项目选址 3

    26959(二)、用地控制指标 3

    28658(三)、节约用地措施 5

    3872(四)、总图布置方案 6

    13381(五)、选址综合评价 7

    10493二、微波集成电路AL2O3基片项目文档管理 9

    6604(一)、文档编制与审查 9

    10280(二)、文档发布与分发

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