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一种半导体物料搬运系统.pdfVIP

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  • 2023-12-27 发布于四川
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一种半导体物料搬运系统.pdf

    本申请提供一种半导体物料搬运系统，所述系统包括：生产区间，由依次连接的第一主轨道、第一副轨道、第二主轨道和第二副轨道包围形成，用于设置生产设备，所述生产区间的空间利用率大于等于83％；晶圆存储架，设置于所述生产区间中靠近所述第一副轨道的一端，所述晶圆存储架的第一端与所述第二主轨道连接，所述晶圆存储架的第二端靠近所述第一主轨道；晶圆分片机，设置于所述晶圆存储架的第二端，所述晶圆分片机的第一端与所述第一主轨道连接，所述晶圆分片机的第二端与所述晶圆存储架的第二端连接。本申请提供一种半导体物料搬运系统，

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117293068A

    (43)申请公布日2023.12.26

    (21)申请号202210687699.8

    (22)申请日2022.06.17

    (71)申请人中芯国际集成电路制造（北京）有限

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