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本实用新型公开了一种用于清理单晶炉的吸尘过滤装置,包括:桶体、桶盖、进尘口管接头、出尘口管接头和过滤网板;所述桶盖可拆卸地盖合在所述桶体的开口处;所述进尘口管接头设置在所述桶体的外周面上且与所述桶体内部空间相通;所述出尘口管接头设置在所述桶体的外周面上且与所述桶体内部空间相通;所述过滤网板设置在所述桶体内部空间,所述进尘口管接头和所述出尘口管接头位于所述过滤网板所处平面的两侧;所述过滤网板与所述桶盖之间留有间隙。该装置能够有效提高单晶炉清理的效率。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220238086U
(45)授权公告日2023.12.26
(21)申请号202322012190.6
(22)申请日2023.07.28
(73)专利权人双良硅材料(包头)有限公司
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