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- 2023-12-28 发布于四川
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本申请实施例提供一种掩膜版及其制作方法、清洁装置、清洁方法。所述掩膜版包括设有避让通孔的承载基板，所述避让通孔沿所述掩膜版的厚度方向贯穿所述承载基板，以及固定至所述承载基板一侧的硅基膜板，所述硅基膜板设有一个以上的蒸镀开口。其中，所述避让通孔至少暴露出一个所述蒸镀开口。利用承载基板实现对硅基膜板的固定，再结合硅基膜板自身具有较高的刚度等特性，以获得高PPI、高可靠性的掩膜版。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115216729A
(43)申请公布日2022.10.21
(21)申请号202210833899.X
(22)申请日2022.07.14
(71)申请人京东方科技集团股份有限公司
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