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2023-12-28 发布于四川
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一种用于氧化镓衬底的清洗装置.pdf

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本实用新型涉及氧化镓衬底加工技术领域，公开了一种用于氧化镓衬底的清洗装置，所述栅格板的网板中部安装有旋转电机，所述旋转电机的输出端安装有旋转盘，且旋转盘的板面中部安装有夹具机构，所述清洗箱的箱体内部沿旋转盘的圆台周向排布设置有多组清洗喷管。本实用新型通过利用夹具机构中第一夹座、第二夹座上的呈V形结构的夹面，能够以边框夹固的方式，对氧化镓衬底边框进行夹固，其一方面具有良好的对夹稳固性能，另一方面并不会对氧化镓衬底板面进行遮盖，确保氧化镓衬底清洗的全面性，且通过利用旋转电机、旋转盘的组合，能够驱动氧

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220239428U

(45)授权公告日2023.12.26

(21)申请号202321620848.5

(22)申请日2023.06.26

(73)专利权人青岛芯康半导体科技有限公司

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