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一种利用环形振荡器测量电容的电学检测结构.pdfVIP

一种利用环形振荡器测量电容的电学检测结构.pdf

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    本实用新型涉及一种利用环形振荡器测量电容的电学检测结构，包括多级反相器和位于前后级反相器之间的负载C结构；所述负载C结构包括金属叉指结构，所述金属叉指结构包括若干根金属finger；所述负载C结构与所述前后级反相器电连接，用于测量负载电容。通过在相同面积的前段结构上设置不同负载C结构，虽然不同的负载C结构中的金属finger的数量不同，但其前段结构都一样，以控制负载不同的情况下前段结构的影响，提高检测结果的准确性。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220252065U

    (45)授权公告日2023.12.26

    (21)申请号202321735198.9

    (22)申请日2023.07.04

    (73)专利权人杭州广立微电子股份有限公司

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