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超长尺寸陶瓷导轨及其制备工艺与在光刻机中的应用.pdfVIP

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  • 2023-12-28 发布于四川
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超长尺寸陶瓷导轨及其制备工艺与在光刻机中的应用.pdf

    本发明属于陶瓷制品的制备技术领域，具体涉及超长尺寸陶瓷导轨及其制备工艺与在光刻机中的应用。所述的超长尺寸陶瓷导轨的制备工艺，首先采用等静压工艺进行压制脱模，雕铣加工，烧制后得到陶瓷件毛坯，然后将毛坯端面进行预处理得到坯体，最后将坯体与坯体的端面通过螺栓进行拼接，经过平面磨削、精密研磨，得到超长尺寸陶瓷导轨。本发明提供的超长尺寸陶瓷导轨的制备方法，工艺简短，操作简单，所制备的陶瓷导轨，长度方向高达3600mm，强度好，满足光刻机用的要求。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117283680A

    (43)申请公布日2023.12.26

    (21)申请号202311584662.3B24C1/06(2006.01)

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