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探针自动对齐的方法、装置、系统及存储介质.pdfVIP

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  • 2023-12-28 发布于四川
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探针自动对齐的方法、装置、系统及存储介质.pdf

    本申请公开一种探针自动对齐的方法、装置、系统及存储介质，涉及半导体检测技术领域，该方法包括：获取用于显示过程的区域图像并进行预处理；构建机器学习模型，所述机器学习模型包括DQN模型和RND模型；RND模型基于好奇心机制对DQN模型执行补偿机制，将预处理后的数据输入机器学习模型进行训练，得到训练后的机器学习模型；通过训练后的机器学习模型进行探针的自动对齐。本申请实施例，基于机器学习实现探针与芯片上每个铝垫的自动对齐，减少测试人员的工作量；通过DQN模型实现代理人与环境的交互，完成自动检测，激励代理

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117291234A

    (43)申请公布日2023.12.26

    (21)申请号202311587480.1G06V10/20(2022.01)

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