电容薄膜真空计校准规范.docx

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电容薄膜真空计校准规范

1范围

本规范适用于测量范围在0.1Pa～133kPa的电容薄膜真空计的校准，其中包括绝压电容薄膜真空计和差压电容薄膜真空计。

2引用文件

本规范引用了下列文件：

JJF1001—2011通用计量术语及定义

JJF1008—2008压力计量名词术语及定义

GB/T3163—2007真空技术术语

GB/T3164—2007真空技术图形符号

ISO/TS3567:2011(E)真空计——与标准真空计直接比对的校准(Vacuum

gauge—Calibrationbydireetcomparisonwithareferencegauge)

1SO/TS27893:2009(E)真空技术——真空计——与标准真空计直接比对校准

结果的不确定度评定(Vacuumtechnology—Vacuumgauge—Evaluationoftheuncer-

taintiesofresultsofealibrationsbydirectcomparisonwithareferencegauge)

《真空技术手册》(HandbookofVacuumTechnology)第15章校准和标准(Cali-

brationsandStandards)

凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文

件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本规范。

3术语和计量单位

3.1术语

3.1.1真空计(vacuumgauge)[GB/T3163—2007定义4.1.2]测量低于大气压力的气体或蒸汽压力的一种仪器。

3.1.2电容薄膜真空计(enpacitancediaphrngmvacuumgauge)

利用膜片受到压差产生位移，造成膜片与固定电极之间的电容量发生变化，通过测量这种电容量变化来测量压力的真空计。

3.1.3校准室(calibrationchamber)

向标准真空计和需校准仪器提供共同真空介质的真空室。

3.1.4本底压力(basepressure)[ISO3567;2011(E)定义3.17]

在校准气体进入校准室之前，或校准后进气阀关断若干时间后，校准室内的压力。

注：本底压力不要与残余压力(residualpressure)混涌，后者是指校准室内所能达到的最低压力，通常要烘缚除气或经长时间抽气的结果。本底压力可高于但不可低于残余压力。

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5计量特性

5.1修正因子

5.2零位变化量

6校准条件

6.1环境条件

6.1.1校准的环境温度为(23±5)℃,校准过程中，环境温度波动度不超过1℃,实验室内不应有明显的气体流动。

6.1.2环境湿度不大于80%RH。

6.1.3校准设备周围应无热源、强电磁场和故射性源等外界干扰，周围不应有明显的

振动。

6.2测量标准及其他设备

6.2.1测量标准装置

标准装置用于提供已知的压力量值，通常可使用气体活塞压力计、静态膨胀法真空标准装置或比较法真空标准装置，如表1所示。其他压力范围和不确定度能满足客户校准要求的标准装置也适用。

标准装置的相对扩展不确定度应优于客户要求的校准不确定度。

表1标准装置

序号

装置名称

技术要求

1

气体活塞压力计

测量范围：10Pa~100kPs

不确定度：Um=(0.20%～0.01%)(A=2)

2

静态膨胀法真空标准装置

测量范围：0.1Pa~100kPa

不确定度：Ua=(1.0%～0,1%)(k=2)

3

比较法真空标准装置

测量范围：0.1Pa~100kPa

不确定度：Um=(1.0%～0.5%)(=2)

标准真空计推荐为：电容薄膜真空计、磁悬浮转子真空计波登管压力计及相应的高精虚数字压力计(绝压)。

注：在标准策置中给出的不确定度对应的是测量范围的下限和上限。

6.2.2其他设备

其他配套设备见表2。

序号

仅器设备名称

技术要求

用途

1

电离真空计

范围：0.1mPa~0.1Pa

不确定度，Um=50%(k=2)

电容薄服真空计进行零点周节时测量参考压力。

2

电压表/电流表

范围：DCV:(0~10)V

DC1:(0~20)mA

电压表/电流