2023年电子用高纯气体项目规划设计方案.docx

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电子用高纯气体项目规划设计方案

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电子用高纯气体项目规划设计方案

目录

TOC\h\z28556序言 3

2760一、电子用高纯气体项目文档管理 3

19404(一)、文档编制与审查 3

21829(二)、文档发布与分发 4

1342(三)、文档存档与归档 5

14933二、电子用高纯气体项目选址可行性分析 6

3450(一)、电子用高纯气体项目选址 6

14458(二)、用地控制指标 6

5919(三)、节约用地措施 8

13681(四)、总图布置方案 10

24613(五)、选址综合评价 11

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