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本实用新型提供了一种晶圆托架装置及化学机械抛光设备，包括：托架本体和若干个对射式光电传感器。托架本体安装于承载杯杯体内且用于承托晶圆，托架本体的顶部对应晶圆放置位置的边缘设有若干个检测孔。对射式光电传感器与检测孔一一对应设置，对射式光电传感器包括安装于托架本体上的激光发射器和激光接收器，激光发射器和激光接收器对称地设于检测孔两侧，激光发射器和激光接收器朝向晶圆放置位置呈倾斜设置，根据激光接收器是否收到经晶圆反射的激光，以监测晶圆的在位状态和/或碎裂情况。本实用新型晶圆托架装置提供了更为可靠和有效
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220260606U
(45)授权公告日2023.12.29
(21)申请号202322135596.3
(22)申请日2023.08.09
(73)专利权人芯恩（青岛）集成电路有限公司
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