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本发明提供了一种基于等离子体的金属/绝缘界面性能提升装置,混气箱单元上方和纳秒脉冲电源连接,混气箱单元下方和毛细石英玻璃管连接,毛细石英玻璃管内中心位置固定有高压针电极,毛细石英玻璃管外部下方被毛细管绝缘环包裹,在毛细管绝缘环横向上有一内螺纹通孔,在螺纹通孔内,毛细石英玻璃管外包裹着铜箔,螺纹通孔内放置弹簧,弹簧与铜箔接触良好;接地铜柱电极的前端带有外螺纹,外部包裹接地电极绝缘环的接地铜柱电极通过螺纹通孔与毛细管绝缘环相连。本发明避免了等离子体或样品金属向接地铜柱电极爬电,同时配合运动控制装置控
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117320247A
(43)申请公布日2023.12.29
(21)申请号202311365217.8
(22)申请日2023.10.20
(71)申请人南京工业大学
地址211816
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