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本实用新型提供了一种液氮入口浸入式高低温测试温度控制系统,包括气源进气口、控制器、控制系统、一号温控器;气源进气口分别管路连接至比例混合阀、灌流风机和测试腔,且上述三条管路上分别安装一个阀,比例混合阀还管路连接至液氮入口,且该管路上安装一号阀;控制器通过控制一号阀的状态来控制液氮的流通量;通过控制阀的状态来控制气体的流通量;一号温控器用来控制灌流风机的工作状态;控制系统,根据测试腔内部的温度数据,调节控制器、一号温控器的工作状态,从而与测试腔配合测试物料。本实用新型所述的液氮入口浸入式高低温测试
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220271780U
(45)授权公告日2023.12.29
(21)申请号202322147625.8
(22)申请日2023.08.10
(73)专利权人天津金海通半导体设备股份有限
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