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本申请提供一种红外窗口的缺陷检测方法及装置，该方法包括：在MEMS器件与待检测红外窗口对准之后，探测目标发出红外辐射，红外辐射通过待检测红外窗口的镀膜区域到达MEMS器件；读取MEMS器件对应的电信号，基于MEMS器件对应的电信号检测待检测红外窗口是否存在缺陷；在待检测红外窗口的缺陷检测完成后，分离MEMS器件与待检测红外窗口，通过MEMS器件对其它待检测红外窗口进行缺陷检测。通过本申请的技术方案，在将红外窗口与MEMS器件进行真空封装之前，对红外窗口进行缺陷检测，在红外窗口存在缺陷时，就不会将
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117309162A
(43)申请公布日2023.12.29
(21)申请号202311198521.8
(22)申请日2023.09.15
(71)申请人杭州海康微影传感科技有限公司
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