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2023-12-30 发布于四川
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一种硅片清洗转运箱.pdf

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本实用新型涉及硅片技术领域，具体为一种硅片清洗转运箱，包括清洗转运箱箱体，所述清洗转运箱箱体上方设有把手，所述清洗转运箱箱体内设有底座，还包括：清洗部，位于所述清洗转运箱箱体内部，包括弹性元件并且通过一个动力源的驱动和所述弹性元件的弹力作用对硅片表面沿着竖直方向进行多次清洗，并且对清洗后的硅片起到夹持固定的作用。本实用新型通过设置清洗部，当在运输清洗转运箱箱体时，动力源带动清洗部挤压在硅片的上端，对硅片起到固定的作用，避免在转运的过程中硅片发生滑落的情况，并且满足多次清洗使硅片达到清洁状态的效果

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220263628U

(45)授权公告日2023.12.29

(21)申请号202321176013.5B08B1/00(2006.01)

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