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本发明公开了一种深大磁环环壁的清洗系统及方法，属于磁环壁清理技术领域，清洗系统包括：微波注入装置，用于穿过微波注入位置窗口后在共振面产生等离子体；多个探针靶板，安装在真空室内壁的垂直方向、底面和顶面；每个探针靶板上均设置有多个沿探针靶板长度方向直线排列的探针；探针与等离子体接触后产生电压信号；控制模块，用于控制TF和VF线圈通电执行清洗，根据产生的电压信号，获得等离子体横向和纵向的壁表面电子密度分布，计算清洗前预设的电子密度峰值位置与清洗后实际电子密度峰值位置的偏移量，并判断该偏移量是否在预设的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117316746A
(43)申请公布日2023.12.29
(21)申请号202311409494.4
(22)申请日2023.10.27
(71)申请人深圳大学
地址518000
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