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2023-12-30 发布于四川
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一种气体传感器生产设备.pdf

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本发明涉及一种气体传感器生产设备，包括晒版机体，所述晒版机体的顶部设置有晒版腔，所述晒版机体的顶部安装有盖板，所述盖板的下方固定连接有曝光板，所述曝光板位于晒版腔内，所述盖板上设置有除尘机构，所述除尘机构位于晒版腔内；所述除尘机构包括刮板和平移组件，所述平移组件驱动刮板移动，所述刮板上设置有第一收集槽，所述第一收集槽的槽口朝上布置，所述刮板固定插入第一收集槽的槽口内，所述刮板的顶部位于第一收集槽的上方，该发明通过刮板在曝光板上的移动刮下曝光板上的灰尘，实现除尘，而刮板刮下的灰尘随着气流输送至第一

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117311078A

(43)申请公布日2023.12.29

(21)申请号202310982797.9

(22)申请日2023.08.07

(71)申请人无锡红光微电子股份有限公司

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