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本发明属于半球陀螺仪技术领域，特别涉及一种半球谐振子的离子束刻蚀工装及离子束刻蚀修调方法，具体为：离子束射出后穿过溅射挡板的第一入射孔进入第一套筒，经过第一套筒将多余的离子束阻挡，有效离子束经过第一套筒的第一出射孔，进入第二套筒；经第二套筒的第二出射孔射导流后出射在半球谐振子的表面，进行刻蚀动作；本发明通过对第一套筒、第二套筒的穿射行程以及孔隙的合理设计，对离子束经过二次约束，能够有效隔离多余的离子束，防止反溅，同时，缩短第二套筒与半球谐振子之间的距离，减小刻蚀面积，能够控制刻蚀精准度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117305846A
(43)申请公布日2023.12.29
(21)申请号202311410193.3G01C25/00(2006.01)
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