《微制造SU8去除》课件.pptxVIP

汇报人：PPT;目录;PARTONE;PARTTWO;SU8材料介绍;SU8材料的优点;SU8材料的缺点;PARTTHREE;微制造工艺流程;SU8去除在微制造中的位置;SU8去除的原因和目标;PARTFOUR;物理法;化学法;生物法;各种方法的比较和选择;PARTFIVE;实验设计;实验材料：SU8、去离子水、乙醇、丙酮、氢氧化钠、盐酸、硅片等

实验步骤：a.制备SU8溶液b.涂覆SU8溶液c.曝光d.显影e.蚀刻f.清洗

a.制备SU8溶液

b.涂覆SU8溶液

c.曝光

d.显影

e.蚀刻

f.清洗

实验结果：a.成功去除SU8b.实验过程中遇到的问题及解决方法

a.成功去除SU8

b.实验过程中遇到的问题及解决方法

实验结论：a.SU8去除的有效方法b.实验过程中的注意事项和改进建议

a.SU8去除的有效方法

b.实验过程中的注意事项和改进建议;实验结果分析;结果对微制造的影响和意义;PARTSIX;需要解决的问题和挑战;未来研究趋势和方向;对微制造领域的影响和价值;THANKYOU