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本发明涉及六氟化硫气体回收技术领域，具体涉及一种六氟化硫和氮气混合气体分离回收系统，该系统包括膜过滤单元、吸附过滤单元、六氟化硫回收单元和废气回收单元，吸附过滤单元包括除油过滤器、吸附过滤器、颗粒过滤器。六氟化硫和氮气混合气体通过膜过滤单元过滤后富集的六氟化硫气体依次经过除油过滤器、吸附过滤器、颗粒过滤器，从而将富集的六氟化硫中的水、空气和其他杂质过滤掉。混合气体经膜过滤单元过滤后六氟化硫气体能够达到95％的纯度，再经过吸附过滤单元的过滤后能进一步提升达到99.9％的纯度。该技术方案主要用于回收
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117326532A
(43)申请公布日2024.01.02
(21)申请号202311274405.X
(22)申请日2023.09.28
(71)申请人重庆渝能滤油机制造有限公司
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