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本实用新型涉及集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置，减速机安装板和防水组件安装板连接于摆臂组件固定板上，减速机固定在减速机安装板上，伺服电机主轴与减速机输入轴连接，防水组件固定在防水组件安装板上，支撑杆穿过防水组件且旋转支撑于防水组件上，支撑杆一端与减速机输出轴连接，支撑杆为中空结构，支撑杆上安装水路接头一，支撑杆另一端连接卡套弯头，卡套弯头连接气管固定块一，支撑杆供水通道经过卡套弯头的内腔与气管固定块一的内腔相通，气管固定块一上连接一水路接头二，气管固定块一上固定摆臂钣金件，水气喷嘴组件、涂胶喷嘴
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220277448U
(45)授权公告日2024.01.02
(21)申请号202321994932.3
(22)申请日2023.07.27
(73)专利权人苏州德龙激光股份有限公司
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