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SiC外延机械手.pdfVIP

SiC外延机械手.pdf

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    本发明提供了一种SiC外延机械手，应用于半导体技术领域，该SiC外延机械手，包括：生长室，用于生长样品，样品放置于样品台上；与生长室可连通的操作室，操作室内设置有取样机构和至少一个样品中转台，取样机构用于在操作室与生长室之间处于连通状态的情况下，从生长室取出样品台并将样品台放入样品中转台，和/或，从样品中转台取出样品台并将样品台装入生长室；与操作室连通的手套，设置在操作室上。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117334625A

    (43)申请公布日2024.01.02

    (21)申请号202311286746.9C30B25/02(2006.01)

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