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本发明涉及铜铟镓硒薄膜电池制备方法，金属预制层在200℃的衬底温度下，采用磁控溅射沉积为CuGa/In/CuGa的结构，首先，溅射CuGa合金靶，然后，溅射纯In靶，之后再溅射CuGa合金靶，将金属预制层放在装有硒粉的石墨盒中加热进行硒化反应，先加热到270℃并停留10分钟以形成硒化铜、硒化铟，然后加热到500℃并停留30分钟以形成CIGS，将硝酸铜和氯化铟溶于甲醇得到绿色澄清溶液，另将乙基纤维素粉末溶于正戊醇内，其中乙基纤维素用作粘度调节剂，便于控制单层甩胶厚度。将两种溶液混合即得到预制层溶液
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117334785A
(43)申请公布日2024.01.02
(21)申请号202311296853.XH01L31/032(2006.01)
(22)申请日2023.10
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