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本发明涉及集成电路制作技术领域，具体涉及一种插入冗余通孔优化方法、设备以及储存介质，一种插入冗余通孔优化方法，包括以下步骤：提供一物理设计工具，分别使用不同种类的冗余通孔对典型物理设计结果进行插入，针对每种冗余通孔得到对应的第一物理设计结果；获取每种冗余通孔的权重；针对同一典型物理设计结果的不同位置，分别选用权重最大的一种冗余通孔进行插入，得到第二物理设计结果；利用计算光刻工具对第二物理设计结果进行优化和检测，并判断是否出现预设问题，若未出现预设问题，则保存优化结果。解决了现有技术中在冗余通孔在
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117332748A
(43)申请公布日2024.01.02
(21)申请号202311073931.X
(22)申请日2023.08.22
(71)申请人华芯巨数（杭州）微电子有限公司
地
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