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本发明公开了一种基于一维多层纳米结构的太阳能吸收器及其制备方法,涉及太阳能吸收器领域,该太阳能吸收器结构为由金属层和电介质层交替堆叠的一维10层纳米结构,第一层为金属层,制备方法包括在特定氛围下,惰性气体作为溅射气体,在衬底上,通过沉积法交替沉积金属材料和电介质材料,形成金属层和电介质层交替堆叠的一维10层纳米结构。本发明不需要复杂的图案设计,只需要纳米镀膜技术交替沉积不同材料,相较于三维结构所需的光刻技术,具有成本优势;本发明通过交替堆叠金属和电介质平面形成多个间隔磁极化激元且互相作用,不仅实
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117329718A
(43)申请公布日2024.01.02
(21)申请号202311331457.6C23C14/35(2006.01)
(22)申请日2023.10.
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