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2024-01-06 发布于四川
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本发明公开了一种快速抽真空的方法，包括：步骤一，提供一真空腔室，在所述真空腔室下方两侧设置有慢抽阀，中间位置设置有主抽阀，所述主抽阀与所述慢抽阀通过真空管道相互并联，阀门上端与真空腔室相连接，并联管道的下端与排气泵组相连接；步骤二，将一组或多组匀气板设置于所述真空腔室的排气口与载板之间；步骤三，将码满基片的载板被传输滚轮传入到真空室内，首先打开两侧的慢抽阀，载板上方及下方的气体通过所述匀气板被第一次排走，当真空腔室内气体稀释后，关闭慢抽阀，打开主抽阀，载板上方及下方被稀释的气体通过匀气板汇集到主

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117344281A

(43)申请公布日2024.01.05

(21)申请号202311341801.X

(22)申请日2023.10.17

(71)申请人捷造科技（宁波）有限公司

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